杭州璞璘科技(Prinano)日前向深圳力策科技正式交付PL-AS型半導體級真空氣壓式納米壓印光刻機,這是中國首台真正投入實際產線的納米壓印光刻設備。該設備專為光子集成電路(光芯片)設計,採用面接觸壓印技術,實現8英寸晶圓規模化量產,線寬小於10納米,徹底繞開傳統深紫外(DUV)光刻工藝,單片加工成本降至傳統方案的十分之一。此前,璞璘科技已在2025年8月交付中國首台半導體級步進式納米壓印設備PL-SR,此次PL-AS的落地標誌從工藝驗證走向量產替代的關鍵跨越。

CURRENT ISSUE2026年第25期2026年6月17日
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2026年第25期網裏網外第01篇
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中國首台納米光刻機投產
杭州璞璘科技(Prinano)日前向深圳力策科技正式交付PL-AS型半導體級真空氣壓式納米壓印光刻機,這是中國首台真正投入實際產線的納米壓印光刻設備。
亞洲週刊編輯部2026-06-171分鐘閱讀

